采用环保制冷剂，，，节能环保；

超高精度静压气浮轴承，，无润滑油；

超低振动
，，，轴承零功耗，，
，，无噪运行；

变频驱动
、、、、自动调节、
、、运行安全可靠；

第三代CCS TOUCH及I-VISN系统，，，智能控制，，
，，应用灵活
。。。。